微波集成电路

日期：2007-4-4 来源：中华铁道网

微波集成电路（microwave integrated circuits）采用集成电路方法，将整个微波电路（包括传输线和各种微波元器件）都做在一片基片上的微波电路。在半导体或绝缘基片上，采用半导体工艺或薄膜、厚膜工艺将微波元件和器件及其连线制作在一起而成的整体电路。微波集成电路的传输线常采用微带线。微带线的种类很多，但其基本结构型式有2 种：微带和带状线。微带是一种单接地板固体介质传输线，带状线一种双接地板空气或固体介质传输线。微波有源元件通常是平面硅片人，无源元件是薄膜元件或厚膜元件。

微波集成电路可分为两大类：一类称微波单片集成电路，是采用半导体工艺把元件、器件和微波传输线、连接线等全部制作在一片砷化镓或硅片上面的集成电路；另一类称微波混合集成电路是采用光刻工艺将微带线或其他分布性传输线制作在绝缘基片上，然后在基片上焊装半导体器件（微波场效应晶体管和各种晶体管）及其他元件成的微波集成电路。

和有分立微波元件构成的微波电路相比较，微波集成电路具有体积小、重量轻、成本低等优点，近年来发展很快，在各种微波设备中得到广泛应用。